得獎書
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中文書 > 人文科學
作者:菊地正典
出版社:世茂
出版日期:2022-08-03
ISBN:9786267172001
價格:26.25
看圖讀懂半導體製造裝置
本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置，並介紹半導體所有製程及其與使用裝置的關係，從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構，輔以圖解進行細部解析，幫助讀者建立系統化知識，深入了解裝置的構造、動作原理及性能。
分類： 人文科學